無塵室設備 | 富泰空調科技
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無塵室(Cleanroom,又稱淨室、潔淨室或清淨室) 是指將空間中包括灰塵、空氣傳播的微生物、懸浮顆粒或化學揮發氣體排除,並同時去監控溫度、濕度、壓力等相關數據,形成一個低汙染水準的環境;它被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如:半導體生產、面板生產、生化技術、生物技術、精密器械、製藥、醫院手術室等行業之中;其中以半導體業對其室內溫溼度、潔淨度的要求最為嚴格,故需要控制在某個需求範圍內,才不會對製程造成影響。其中,在廠房內會依照用途區分區域,每個區域會有不同潔淨度標準;自動洗手烘乾機、潔淨服裝櫃、除塵淨化清淨機這些相關設備,可放置於無塵室與更衣室間的入口通道處,由於穿脫衣服引發的灰塵很多,在常態循環時就將灰塵微粒帶走,以減少人員更衣時汙染無塵室的機會。

何謂潔淨度(Cleanness)?
以潔淨室在特定空間內能夠有效控制微粒數量的能力,在「特定容積」內定義「特定大小」的微粒數量作為基準。

而無塵室可以分為兩種類,工業潔淨室(ICR)與生物潔淨室(BCR),比較如下表
工業無塵室 生物無塵室
潔淨度 ISO 1 - ISO 8 ISO 5 - ISO 8
控制粒子直徑(μm) 0.1-0.5 0.5-10 (以5為中心)
過濾器使用等級 HEPA, ULPA HEPA, 中高效過濾器
控制參數 微粒,化學污染物,壓力,氣流分布,溫度,濕度 微粒,微生物,壓力,氣流分布,溫度,濕度
維持環境的方法 清淨(Cleaning) 洗淨,除菌,消毒,滅菌
潔淨度監測方式 微粒及化學污染物濃度 微生物數及微粒濃度
其他潔淨除塵的相關設備
除了無塵室內用的設備外,我們也提供其他設備,可適用於辦公室、商店、診所、學校和其他商業場所等大坪數空間,大風量空氣濾淨機(PAU)經過高效濾網可有效減少PM2.5之危害風險。

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