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眾所周知，荷蘭商艾司摩爾 (ASML) 過去以來所生產的曝光機一直是半導體製造當中的關鍵設備，尤其是其獨家所生產的極紫外光曝光機 (EUV) 更是半導體先進製程中不可或缺的設備，也是協助當前全球唯三，包括台積電、三星、英特爾能往先進製程發展的重要設備，也因此美國限制了中國無法取得 EUV，使得中國半導體發展上始終落後給其他國家廠商。
而在半導體生態系中佔據如此關鍵位置的 ASML，其究竟是一家甚麼樣的公司也引發外界的好奇。因此，《路透社》先前就專訪了艾司摩爾的技術開發副總裁 Tony Yen。而透過與 Tony Yen 的對談中也讓大家了解，ASML 的經營、文化、以及產品的發展。
問：我很想聽聽您如何描述 ASML EUV 及其功能。
答：基本上，我們製造的機器是一種曝光工具，可以生產每個人都需要的芯片。目前台積電、三星、和英特爾是我們向市場出售該尖端設備的三大客戶。
問：ASML 要成為該領域的領導者，需要具備哪些要素？顯然存在入門障礙，如前期成本和技術技能。但是，為什麼其他人不能複製呢？
答：ASML 根植於荷蘭文化，公司的決心，工程師的組成，管理層和我們的客戶是成為領導者的因素。
荷蘭的人口雖然只有 1,700 萬，但其公民都受過高等教育。ASML 擁有許多具備博士和碩士學位的員工，而且該公司非常的國際化，使得在公司的自助餐廳內可以聽到各種語言的交談，這些語言包括了中文、俄文、東歐文、西班牙文、意大利文、德語等。
而就因為公司的國際化特性，使得員工被公司的文化所吸引，這是非常重要的，這將使得公司注重結果，而且由技術來帶動的發展容易被實現。另外，幾位公司高階領導人都擁有物理學博士學位或物理學家的身分，使得這些公司領導人在 ASML 中扮演著關鍵重要角色。尤其，他們幫助 ASML 來透過物理學的常識來發展特殊的設備機械，包括提供給先進晶片製造過程使用的 EUV 曝光機，這是 ASML 能成為該領域的領導者的關鍵之一。
ASML 為台積電、三星、和英特爾提供尖端設備。（資料照／ASML FB）
問：ASML 何時開始考慮發展 EUV？
答：這大概開始於 2000 年左右，公司並決定為大量開發與生產這些曝光機。當時，日本的廠商沒有這樣做，因為他們看到 EUV 系統將會非常複雜，而且不見得確信 EUV 設備能 100% 的起作用。
而 ASML 有一個德國合作夥伴-蔡司 (ZEISS)，該公司以生產光學系統為主，其歷史可以追溯到 1850 年。而 ASML 與蔡司合作，蔡司專門為 ASML 製造光學系統。也因為 ASML 也為蔡司的許多開發提供資金，因此蔡司只能向 ASML 出售與半導體相關的光學系統。另外，在與蔡司德發展過程中，ASML 還收購了總部位在美國聖地亞哥的 Cymer，這是使 EUV 發揮作用的另一個關鍵供應廠商。
問：ASML 一開始要如何努力地將產品推廣到市場上，而且之後生產出能符合他們需求和規格的產品？
答：從早期開發階段開始，這兩者這是相互的。因為客戶採用 ASML 早期開發的設備，可靠性不高，使得這些機器雖然有 50% 的時間在停機的狀態中。只是，這些設備卻能夠提升生產晶片過程中上所需的功能。因此，如果客戶需要提升晶片的生產，或者用於生產更微小的晶片，就必須選擇 ASML 的機器，這就是一開始的方式。但是，在當時，這些機器絕不是生產的絕對必要設備。
第一台 EUV 機器於 2010 年送交三星，2011 年送交台積電，這些都是早期的機器。而 ASML 經歷了許多的研發，而且也讓客戶知道 ASML 長期參與在客戶開發產品的過程當中，讓他們對於設備也能具備信心。而對於最先期的客戶，ASML 將早期的開發工具放在客戶端，並在物理上與客戶共同開發該技術，在此互相合作的基礎之下，開發出達到客戶需求產品。
問：針對未來先進製程包括 7 奈米、5 奈米、3 奈米的發展可以說明一下狀況嗎？並且說明一下這些先進製程技術的轉移狀態？
答：在當前大規模生產中最先進製程技術是 5 奈米節點，這是由台積電和三星目前的技術。而英特爾在 5 奈米製程節點方面落後，他們甚至沒有在 7 奈米製程節點上開始進行大規模生產。但這邊必須要注意的是，因為英特爾具有更高層級的設計規則，因此英特爾的 7 奈米節點就相當於台積電和三星的 5 奈米節點產品。因此，在相關技術並非完全一模一樣的情況下，這樣的差別很難說哪一家的產品比較優異。
至於，問題的第二部分，當客戶轉向更高級的製造流程，一般所需要的時間大概是 5 年。而在這個階段中，ASML 就會與客戶相互的發展目標，只是這邊無法透露細節。不過，首先需要對產品經行規劃，然後獲得董事會得許可後進入開發階段這是一定的。而一旦產品開發成功進入量產階段，在出口地點在不是受到管制的國家或地區情況下，預計 2 年就會運交量產型的產品設備。
如果要提升晶片的生產，或用於生產更微小的晶片，ASML 的機器是必須的（示意圖／台積電提供）
問：我敢肯定，您會經常聽到這個問題，而且當前情況可能會加劇這一問題，也就是對摩爾定律已經到極限的狀況有什麼看法？
答：許多人說摩爾定律已經失效或減速。但是我認為它並沒有失效，也沒有減速。因為就 ASML 的看法，摩爾定律可能還會再延續 10 年，甚至更長的時間。而且，晶片面積微縮的作法，未來還可以持續至少 10 年。
另外，目前人們正在談論堆疊是晶片的做法，將它們彼此堆疊，這就是所謂的 3D 整合，包括台積電和三星也對此進行了很多討論。但是，就 ASML 的看法來說，雖然 3D 整合正在發生，但是 2D 平面晶片面積微縮仍至少可以持續 10 年的時間。而為了此目標，ASML 下一代 EUV 曝光設備也正在積極的開發當中。
問：ASML 是否考慮在機器學習或 5G 標準方面進行投資，並預計這將如何影響市場需求？還是對您來說太下游了？
答：這部分的距離不算太遠。因為包括蘋果，三星，高通等公司都正在生產 5G 晶片。如今，華為已進入限售令的實體名單中，因此其市場位置已被小米和其他中國品牌接收情況下，高通透過由三星最先進的 5 奈米製程來生的最高階晶片，目前已經進入大量生產階段情況下，ASML 也正享受良好業務所帶來的美好成果。
問：對於地緣政治問題您有甚麼看法？
答：我不是公司發言人，但是 ASML 絕對希望遵守所有法律。如果我們的機器的一部分是美國製造的，並且有人被列入禁售令的實體清單，則說明我們就必須遵守美國出口法令。
ASML 美國公司公關經理 Brittney Wolff 補充說明指出，顯然這是 ASML 必須非常認真考慮的事情，因為我們在許多國家獲地區開展業務。但是，我們在任何地方開展業務時都遵守並遵守規則和規定，而且我們從來沒有遇到過任何挑戰。
（本文轉載自財經新報／作者 Atkinson）
