林本坚，男，1942年出生在越南，中国台湾人，祖籍广东潮汕 [1]，美国国家工程院院士，台湾“中央研究院”院士，台湾清华大学、台湾交通大学、台湾大学特聘讲座教授，清大—台积电联合研发中心主任。 [2-3]
林本坚1963年获得台湾大学电机工程学系学士；1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程学系博士；2000年—2015年在台湾积体电路制造股份有限公司任资深处长、杰出科技院士和副总经理；2008年当选美国国家工程学院院士；2014年当选台湾“中央研究院”院士；2015年底从台积电退休。 [4-6]
- 中文名
- 林本坚
- 外文名
- Burn J. LIN
- 出生地
- 越南
- 出生日期
- 1942年
- 毕业院校
- 美国俄亥俄州立大学
- 职 业
- 教育科研工作者
- 主要成就
- 开拓浸润式微影系统方法
2008年当选美国国家工程学院院士
2014年当选台湾“中央研究院”院士 - 性 别
- 男
- 学 历
- 博士研究生
- 祖 籍
- 广东潮汕
1959年，到台湾新竹高级中学读书。 [8]
1963年，获得台湾大学电机工程学系学士。 [4]
1970年，获得美国俄亥俄州立大学电机工程学系博士。
1970年—1992年，在美国国际商用机器公司任研究员、研发经理、部经理、幕僚。
1992年—2000年，在美国领创公司任总经理。 [4]
2000年—2015年，在台积电任资深处长、杰出科技院士和副总经理。
2008年，当选美国国家工程学院院士。 [6]
2014年，成为第一位出身业界的台湾“中央研究院”院士。 [6]
2015年底，从台积电退休。 [5]
- 科研综述
林本坚一系列突破性的创新所开拓的浸润式微影（也称光刻）方法，革新了集成电路的制程，使先进半导体芯片的特征尺寸能持续缩减为细微纳米量级，在过去十五年以及可预见的未来，为建造最强大的计算和通信系统做出了关键贡献。2002年，林本坚发明了“浸润式微影技术”，彻底改变了集成电路的生产。这项技术是在透镜和硅片表面的间隙中，用水代替空气以提高分辨率。当全世界的半导体研发团队都在专注于157纳米波长技术时，林本坚创造性地以193纳米波长的光，通过水作为介质，将其缩短至134纳米。他通过各种国际研讨会说服同行使用该技术，由此继续将摩尔定律延续下去。 [8-9]
- 出版著作
《把心放上去：林本坚的‘用心则乐’人生学》 [5]
- 教育理念
“技术上的困难都是纸上谈兵，要有晚上睡不着觉的信念去解决问题。”他勉励年轻人，做科研一定是享受科学乐趣的，“不要死犟，要会转弯，会求助，‘三个臭皮匠顶个诸葛亮’。” [2]
获奖时间 | 奖项名称 |
|---|---|
1975、1976、1978、1982、1984、1986、1989、1992、1994、1997年 | 美国IBM杰出发明奖 |
1988年 | 美国IBM杰出贡献奖 |
2004年 | 第一届美国 SPIE Frits Zernike 终生成就奖（SPIE颁给微影家最高的荣誉） |
2004年 | 潘文渊文教基金会研究杰出奖 |
2004年、2006年 | 台积电创新与客户伙伴奖 |
2005年 | 美国VLSI研究机构积体电路工业界最有贡献的明星 |
2008年 | 美国国家工程学院院士 |
2009年 | 美国俄亥俄州立大学最高成就金牌 |
2009年 | 国际电机电子工程学会IEEE Cledo Brunetti Award for contributions to immersion lithography for the manufacture of integrated circuit devices（IEEE颁给微影家的高知名度奖） |
2013年 | 国际电机电子工程学会西泽润一金牌 |
2014年 | 台湾“中央研究院”院士 [5] |
2018年 | 台湾大学杰出校友-学术类 |
2018年 | 美国俄亥俄州立大学杰出校友 |
2018年9月8日 | 未来科学大奖—数学与计算机科学奖 |
参考资料来源： [4] | |
任职时间 | 职务 |
|---|---|
2002年—2011年 | Journal of Micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS首任总编辑 |
2003年 | 国际电机电子工程学会（IEEE）会士 |
2003年 | 国际光学工程学会（SPIE） 会士 |
/ | IEEE终身研究员 |
参考资料来源： [4] | |
- 家庭背景
林本坚的父母早先时候居住在香港，在抗战时期逃到相对安全的越南，林本坚便出生在那里。在越南，他一方面接受中国式的教育，另一方面因父亲曾是一所英文学校的校长，为他学习英文打下了扎实基础。林本坚的妻子是黄修慧。 [2] [8]
- 为人处事
- 人生信条
诚信、正直、操守，还有反复强调的合作精神。 [2]
林本坚是极具成就的科学家和发明家，半导体工业界的英雄，“浸润式微影之父”。他彬彬有礼、丰采奕奕，颠覆了人们对科研工作者的一贯印象。内敛、安静、风趣，这几个特点，是洋溢在林本坚身上的易被感知的特点。在科学家的岗位上尽责尽心，当先生，又表现得体、周道。作为科学家，在外，45年如一日，开山辟路，荣誉等身，业界隆崇。在内，父慈子孝，伉俪荣谐，活力盎然。（网易科技评） [9]
假如没有林本坚及其团队，“台积电的微影（半导体关键制程之一）不会有今天这规模。”（台积电董事长张忠谋评） [8]
奖励他开拓浸润式微影系统方法，持续扩展纳米级集成电路制造，将摩尔定律延伸多代。（未来科学大奖获奖评语） [10]
“他的心，跟上了他的每一个步伐。”（林本坚挚友评） [2]
“林本坚院士是改写半导体历史的巨擘，也是光学微影技术的先驱者，清华能够延揽到这位谦虚又乐意传授的国际人才任教，非常荣幸。”（台湾清华大学电机系主任徐硕鸿教授评） [7]
- 助学基金
林本坚从台积电退休后，和妻子一同为俄亥俄州立大学母校创办助学基金，将未来大学大奖的100万美元奖金全数捐入基金会。 [2]
