ASML「EUV培訓中心」南科開幕 就近服務台積
MoneyDJ新聞 2020-08-20 18:45:59 記者 王怡茹 報導 為就近服務大客戶台積電(2330)，全球半導體微影技術領導者ASML籌備一年半的「EUV (極紫外光)全球技術培訓中心」於今(20)日正式開幕。ASML全球副總裁暨台灣區總經理陳文光表示，在台南成立EUV全球技術培訓中心，不僅讓公司在台營運和服務項目更多樣化，更實現了全力支援客戶先進製程的承諾；未來也將持續招募高階人才，預計3年內在台RD團隊將增加至500人。
目前ASML在荷蘭本部、南韓及台灣皆設有EUV技術培訓中心，在台灣的據點則座落於台南科學園區，建置費用約1350萬歐元、占地1,625平方公尺，並配備實機模組(live module)，提供技術理論課程和無塵室實機操作課程等多元化培訓內容。該中心目前配置14位講師，估計每年可提供數千小時的課程，為ASML和其客戶培育360位EUV技術工程師。
在台營運據點上，ASML在林口、新竹、台中、台南設有客戶支援辦公室，並於林口和台南設立工廠。其中，林口廠負責機台翻修、光罩傳輸(Reticle Handler) 模組生產與YieldStar光學量測設備生產，台南廠則專注於電子束(ebeam)和多光束(multi-beam)檢測設備製造。
ASML表示，將一個新手工程師培育至成為可獨自作業的EUV工程師，需歷經18個月的訓練。全球的EUV工程師，即使只負責部分專業技術，都必須前往ASML荷蘭總部接受長達數月的培訓。隨著新冠肺炎疫情為全球差旅增添不確定性，因此該中心將為台灣ASML與客戶提供了一個相對安全且經濟的培訓方式。
ASML全球副總裁暨台灣區總經理陳文光指出，公司於2010年提供第一台EUV微影設備原型機給台積電進行研發工作，為全球微影技術開創新紀元；2017年，ASML 交付第一台量產型EUV微影系統TWINSCAN NXE:3400給台積電，寫下商用EUV製程技術的新里程。至今台灣的EUV裝機規模領先全球。
在EUV設備出貨數量上，2019年ASML共出了26台，其中以台積電占大宗、約18~20台。業界則估算，目前台積電擁有將近30台EUV設備，主要都在南科。而為了衝刺3奈米、2奈米等先進製程，台積電未來勢必將持續向ASML採購EUV機台，雙方關係將更加緊密。
ASML也持續展現深耕台灣的承諾，目前ASML在台灣的員工約2,800人，陳文光表示，公司將持續招募更多人才，在未來三年內，預計RD人數從現有280人增至500人，期盼與台灣半導體產業及客戶共同成長。
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