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但由於此案大部分位於山坡地上,且鄰近斷層,也引發了安全相關的疑慮,與廠商設廠穩定性的疑慮。台積電資深處長莊子壽表示,在山坡地上建廠,台積電過去已經有相關技術可以克服,詳細將再寫在報告中。
而對於當地交通問題,環評委員李克聰認為,開發單位並沒有清楚交代與分析交通問題,只簡單地說有改或是影響有限,讓他對此報告十分失望,應該要針對各種情境下進行分析,目前竹科附近交通已經夠塞了,環評要從最悲觀的狀態來分析。
而環評委員也有提出意見,認為斷層部份的影響並未詳細提到,且當地有違建工廠,這些工廠在園區建造之後要何去何從?且當地制洪面積縮小,要以最大爆雨量進行分析,因此認為需要補件完再審。
也有當地居民邱小姐表示,目前居住在西側的區域,這塊土地要規劃成住宅區,但開發公聽會都只是想「補救方法」,已經送件了才詢問居民意見,而自己也有家人在土地上務農、養豬,若是開發將不知道他們該何去何從。