半導體材料商巨擘美商英特格（Entergris）宣佈來台進行有史以來最大筆投資！此外，德國黃光設備廠休斯微（SUSS MicroTec）也宣布該公司在亞洲第一座生產製造中心在台灣新竹科學園區正式啟動，台灣半導體供應鏈持續壯大。
美商英特格宣佈來台投資 2 億美元
台積電供應鏈、半導體材料與製程巨擘美商英特格日前已敲定，未來 3 到 5 年將在台灣投資 2 億美元（約新台幣 60 億）在高雄設廠。
根據《日經新聞》報導，英特格總裁兼 CEO 洛伊（Betrrand Loy）指出這是該公司有史以來最大筆投資，並預期台灣將成為英特格在亞洲最大製造基地，預計將於 2021 年初興建新廠，2021 年底完工投產並且逐步量產。
英特格是全球半導體與其他高科技產業的特殊化學品供應商，總部位於美國，全球約有 5,100 名員工，在台灣設有新竹辦公室、台南辦公室以及位於新竹的技術發展中心與區域服務中心。
此次英特格的高雄廠將為 5 奈米、3 奈米等先進半導體生產材料，新廠將用於研發與生產晶片商所需的微污染控制過濾器、氣體輸送系統等解決方案，並且將優先為台積電提供產品。英特格也是英特爾、三星、SK 海力士、鎧俠（Kioxi）等晶片大廠的供應商。
洛伊表示，台灣半導體產業位居全球領導地位，此次擴廠反映了台灣與亞太各國國際級半導體製造商對英特格產品及服務需求日增，該公司現在約有六成生產是在美國進行，期待未來可以在亞洲實現多元化生產，目前英特格在日本、馬來西亞與南韓的產能較大，而台灣與中國較小，「未來投資重點肯定是台灣與南韓，希望未來 4、 5 年內可以在台建立亞洲最大產線。」
英特格在台已有 300 名員工，未來計畫再增聘 200 名具備化工專長、製造經驗的人才，並計畫將該公司位於新竹的台灣技術研發中心擴增一倍。
德國黃光設備廠休斯微來台設亞洲第一座生產中心
此外，德國黃光設備廠休斯微也宣布位於新竹科學園區的新廠將在 12 月正式啟動，這是該公司在亞洲的第一座生產製造中心。
根據竹科管理局，休斯微成立於 1949 年，以研發光學設備起家，1999 年在德國股票上市，並在去（2019）年 8 月獲准進駐竹科，投資金額為 5 億元 。
休斯微（SUSS MicroTec）總部設立於德國慕尼黑，是半導體製程設備及技術德國供應商，設備被全球半導體製造商和研究所廣泛採納用於生產和測試晶片、感測器等。SUSS MicroTec Taiwan 則成立於 2002 年。
新廠將研發製造光阻塗佈顯影機、掃描式曝光機及光罩製程設備等精密黃光製程設備，盼為亞洲半導體產業合作夥伴提供解決方案並拉近距離。
竹科管理局也指出，休斯微竹科新廠預計將帶動台灣半導體先進封裝設備的完善發展，有助於先進技術的提升與高階工程人員的培訓，將壯大台灣半導體產業鏈在全球的整體競爭優勢。
荷商艾司摩爾月初宣布在台擴編
除了英特格、休斯微之外，全球半導體微影技術龍頭荷蘭商艾司摩爾（ASML）在月初也宣布在台擴編，表示將持續擴大在台的半導體先進製程關鍵設備極紫外線（EUV）客戶支援團隊。
艾司摩爾（ASML Holding N.V.）是荷蘭的半導體裝置製造商。公司同時在歐洲和美國 NASDAQ 上市。員工約 20,000多名。
艾司摩爾也是台積電認證的優良供應商，除了生產 EUV 機台支援台積電 5 奈米量產，旗下也擁有對 8 吋晶圓廠量產相當關鍵的設備深紫外光微影系統（DUV）。
根據《經濟日報》報導，隨著艾司摩爾在台擴編，增加逾一成人力達到 3,300 人以上，未來台積電等台廠預計都能獲得最快、最出色的工程人員支援，搶佔先機。
另據《Business Korea》報導，三星正計畫加強與艾司摩爾的技術合作，討論有關 EUV 設備供應和開發的相關合作以及建立技術聯盟，確保擴大下一代 EUV 微影設備「High-NA EUV」的供應，並希望能搶在台積電之前。
艾司摩爾亞太區策略行銷高級總監 Boudewijn Sluijk 指出，下一代 EUV 微影設備「High-NA EUV」可應對 3 奈米往下兩代的製程升級所需。
不過，艾司摩爾也指出，「新型多光束（multibeam）檢測系統」也首度推向市場，該檢測系統可以在 5 奈米以下先進製程檢測到微小缺陷，將有助於良率提升，台灣也是美國以外第一個多光束團隊所在，預計三年內將在台南設立 350 人規模的多光束研發支援技術團隊。
參考資料：經濟日報、經濟日報、Business Korea、中央社、科技新報、日經新聞、中央社
（本文提供合作夥伴轉載。首圖來源：台灣積體電路製造股份有限公司。）
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