談到半導體、面板等生產線，大家不免會想到「無塵室」，從字面上來看，「無塵室」一詞就是讓產線中不會出現灰塵或顆粒較大的空氣分子，以免影響極為精細的半導體線路或表面極為平整的面板。要達到高科技產線無塵要求，就必須透過真空泵浦排除產線中的空氣雜質粒子，凌華科技表示，由此可看出真空泵浦的重要，此設備一旦無預警停擺或效能有問題，整條產線的產能和良率都會受影響。
凌華科技接著指出，這幾年 5G、AI、自駕車等技術相繼成熟，市場迎來智慧化浪潮，市場的 IC 需求大爆發，全球半導體、光電面板產能吃緊，真空泵浦的穩定性更顯重要，「要讓真空泵浦穩定運作，業者必須精準監控設備的運作狀態，並利用專業軟體平台分析數據，從而制定出預先維修排程，才能讓產能如期如質的開出。」
缺乏系統化維護保養模式，成乾式真空泵浦硬傷
目前主流真空泵浦為乾式架構，這類具備低功耗、無廢水廢油真空泵浦廣為半導體及面板製造業採用，已是產線中不可或缺的設備。儘管重要性如此高，業界卻一直缺乏系統化的維護保養模式，過去是經由製造現場資深技師的經驗判斷設備是否正常。
在智慧製造概念出現後，市面上雖出現預知保養系統，不過這類系統還是只將收集到的設備數據直接轉拋出去，生管人員必須花費大量時間分析、判斷數量龐大的數據，方能進行後續維修動作。這種只有設備數據擷取功能的預知保養系統，已無法滿足現在半導體與面板業需求。
凌華科技點出，業者需要的預知保養系統必須有兩大重點，一是可以完整掌握乾式泵浦運作狀態，二是有此領域專家特別設計的分析軟體，這類解決方案給的不是一堆龐雜的「數據」，而是已經預先處理過的「資訊」，「凌華科技與譜威科技攜手打造的智慧泵浦監控解決方案，就具備上述兩大特點，可以有效率的協助製造業者優化管理效益。」
資料擷取技術專家凌華、譜威強強聯手，成為製程優化最佳助力
「凌華與譜威都是深耕資料擷取技術多年的專家，優勢互補的雙方在此領域已經合作多年，可說是強強聯手。」凌華科技專注硬體設計，所打造的資料擷取設備已被廣泛應用於產業第一線，可深切掌握製造現場的各種需求。此次推出的解決方案就是專為監控乾式真控泵浦所設計，這款產品最高可偵測 2 組泵浦、4 個感測器，並且可用於螺旋式與爪式兩種主流乾式真空泵浦。
乾式真空泵浦監控解決方案不僅能完整的偵測設備振動數據，同時也具備邊緣運算功能，此解決方案內建譜威科技特別針對乾式真控泵浦振動編寫的演算法。
譜威科技監測事業部經理徐國彬進一步表示，這套演算法提供了健康度、早期指標與診斷指標，OT 人員可在系統介面上直觀了解設備的健康程度、判斷泵浦是否進入損壞初期、掌握軸心軸承等關鍵零組件狀態，藉此制定設備維修排程。
「除了 OT 部門外，此解決方案對企業營運、IT 管理與製程優化等層面也有明顯效益。」凌華科技表示，企業營運者可精準掌握乾式真空泵浦的設備生命週期，讓資本支出的成效最佳化，IT 系統因原始數據（Raw data）已於邊緣端預處理，資料中心的頻寬與儲存負荷可大幅降低，製程團隊則可利用邊緣端回饋的關鍵參數改善流程、提升產能與良率，已預先處理過的資訊也能降低管理人員工作負擔，將心力聚焦於製程優化。
製造業需求迫切，助攻半導體產線有感！
目前此解決方案已為全球大型半導體製造業者採用，透過隨插即用與遠端監控，將系統的配置開發時間縮短 1/3，且可達到預期的生產效率。在此同時，該廠商還善用預測分析功能，有效減少設備的意外故障機率，大幅提升 OEE（整體設備效率）。
另一廠商則是藉由邊緣端的數據預處理功能降低系統傳輸頻寬，並且分析邊緣端回饋的資料調整製程，成功提升 3％ 生產效率與 2％ 良率，對產能極大的半導體製造業而言，成效非常顯著。
「近年來產業環境變化快速，市場對半導體與面板的需求越來越高，單純提供設備數據的預診斷系統，已經無法因應製造業的迫切需求。」凌華科技表示，新世代設備診斷系統對資料擷取與振動的要求更高，兼具這兩者專業的乾式真空泵浦監控解決方案，不僅可解決 OT 部門的設備管理痛點，也可提升營運、IT、製程等環節的工作效益，協助業者系統化掌握乾式真空泵浦資訊，讓高穩定關鍵設備成為產線產能最堅實的後盾。
（本文提供合作夥伴轉載。）
