�@�@�Q�νu�ʰ��F�@���P�ʾ������νd��Ƽs�A�Ѧp�ϯB�C���B�۰ʭ��x�w�t�ΡB�b�u�����ҤU�i��b����B�n��(Mask Repair)�δ���(Wafer)���ǰe�Bx-yø�Ͼ��B�L��q���O�]PBC�^���ոˡB���ξ��c�B¶�u���c�B�Ϻо��B���о�Ū�g�Y�B�۰ʤƻs�y���C
�@
�@�@�u�ʰ��F(Linear Motors)�O�N�@����૬���F����l(Rotor)�B�w�l(Stator)�P���(Air Gap)�@���u���i�}�A�Q�ιq�ઽ���ഫ�����u�ʯ���O�o�˸m���`�١C
�@
�ϥνu�ʰ��F�@���P�ʾ����u�I�G
�@
1. �u�ʰ��F�����X�ʭt���H���ͪ��u�B�ʡA�]�����ݭn�ഫ���c�A�p�Y���B�ֱa�B������B�����B�������A�i�٥h�ഫ���c�������i�Ӳ{�H�A�����ഫ�IJv�P�i�a�ʡC
�@
2. �u�ʰ��F�����c�y²��A���@�e���A���ݭn�ഫ���c�A�ӱo�쪽�u�����O�A�B�b������{����ܧ֦a�[��t�C
�@
3. �u�ʰ��F���@�����w�l�P�G������l�����ץi�ۥѦ��i�A�ӱo��U�ئ�{�C
�@
4. �u�ʰ��F�]�@�����w�l�P�G������l�L������IJ�A�i�j�T���C�i���Y�ơA�]������s�@������סB���ഫ�IJv���U�ؾ���C
�@
�Ӥ]���H�U�����I�G
1. �u�ʰ��F�|���졧�ݮ���(End Effects or Edge Effects)���{�H���v�T�A�ϱo�b���t���u�ʰ��F�����O��p�F�����p���C�t���u�ʰ��F�S���h�j���v�T�C
�@
2. ���૬�q�ʾ��]���O�H��b�@�����त�ߡA��ت����G����O���@�w�A���u�ʰ��F�n�O���@�w����ثh�������e���C
�@
3. �u�ʰ��F���@�����w�l�P�G������l�����ƥ��O�Χl�ޤO�A�|�y���伵���c���t���W�[�C
|
