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薄膜中的扩散与应力模型

来自 掌桥科研

阅读量：

161

作者：

林冰[1]，戴钟保[1]，高梦滢[1]，王江涌[1]

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摘要：

扩散会产生应力,而产生的或内禀的应力又会影响扩散,这在薄膜材料中表现的尤为突出。本文介绍了常见的几个扩散模型和应力模型,并通过热力学的方法推导出了应力条件下的扩散方程。随后采用有限元差分方法模拟了不同应力模型下的扩散分布。

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关键词：

扩散 扩散系数 扩散致应力 应力致扩散

DOI：

10.12677/MS.2016.66053

年份：

2016

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